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山東凈化車間工程潔凈技術是一門跨專業、跨部門、跨學科的綜合性的新興分支學科。其誕生及最初應用是服務于軍事，第二次世界大戰中一些槍炮、戰車、飛機等使用的儀器合格率或經常發生故障。研制者認識到，儀器生產與裝配環境空氣中的懸浮顆粒物是罪魁禍首，于是工業潔凈室誕生了。最初的工業潔凈室是比較簡陋的，隨著原子武器研究和生化武器研究的發展，在20世紀40年代初高效空氣過濾器研制成功并得到應用，20世紀60年代初又出現“單向流”潔凈室，這些設備與技術的誕生成為潔凈技術發展的里程碑，奠定了現代潔凈技術的基礎。

起初潔凈工程潔凈標準是由美國制定的，應用廣泛，單位為英制。每立方英尺空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數。另一種為國際單位，表示時為每立方米空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數的常用對數值?，F代工業潔凈室雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對象，但在某些工藝過程中對空氣中分子態污染物（AMC）也提出了控制要求。因此，空氣凈化技術的關鍵設備也從單一的粒過濾器發展到可以吸附有害氣態物質的化學過濾器器。

微電子行業是現代工業潔凈室應用的代表。主要產品是大規模集成電路和平板顯示器。半個多世紀以來，集成電路得到迅猛發展，隨著集成度的增加，元件中的線寬不斷縮小，因此對空氣懸浮顆粒物的控制粒徑也越來越小，一般認為控制粒徑應當是線寬的1/10~1/3，但由于線寬越來越小，這一要求也難以達到了。微電子產品的迅速發展對傳統的潔凈技術提出了極大的挑戰，同時也促進了現代潔凈技術的發展。 工業潔凈室以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對象，主要為精密機械和電子產品等行業提供符合要求的生產環境。六十年代初是中國潔凈技術發展的起步階段，大致比國外晚了十年。在中國，那是一個非常特殊的困難年代，一方面剛度過三年自然災害，經濟基礎薄弱，另一方面與世界科技先進國家沒有直接交往，得不到必要的科技數據、信息和樣品。在這種艱難條件下，圍繞精密機械、航空儀表和電子工業的需要，中國的潔凈技術工作者開始了自己的創業歷程。

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